I rigonfiamenti e le crepe della pellicola sono causati dallo stesso tipo di stress?

0010-21827 8" Gruppo scudo

 

0021-35869 SOFFIONE DOCCIA

Quali sono i tipi di stress e che tipo di problemi sulla pellicola possono causare i diversi tipi di stress?Tipi di stress interni?

Esistono molte classificazioni delle sollecitazioni interne e, se le dividiamo in base all'effetto dell'azione, possono essere suddivise in sollecitazioni di compressione e sollecitazioni di trazione.
Come mostrato nella figura sopra, lo stress di compressione è la forza di compressione dello strato di pellicola da parte del substrato e lo strato di pellicola ha la tendenza a restringersi; Lo stress da trazione è la forza di trazione dello strato di pellicola da parte del substrato e la pellicola ha la tendenza ad espandersi.
Quali sono le cause dei rigonfiamenti e delle crepe della pellicola?

Come mostrato nella figura sopra, l'effetto dello stress di compressione, lo strato di pellicola viene schiacciato dallo stress di compressione, la distanza tra atomi o molecole diminuisce e quando lo stress è troppo grande, le molecole o gli atomi sopraffatti scelgono di svilupparsi in altre direzioni, che macroscopicamente si manifesta come una sporgenza simile a un tumulo.

Come mostrato nella figura sopra, l'effetto dello stress da trazione, il film viene allungato, la distanza tra atomi o molecole aumenta, quando lo stress è troppo grande, i vuoti tra le molecole o gli atomi non possono essere riempiti, il che si manifesta macroscopicamente come rottura della pellicola.
Quali altri problemi può causare lo stress interno?
Stress da compressione: deformazione del wafer, formazione di bolle nel film, ecc
Stress da trazione: deformazione del wafer, distacco della pellicola, ecc