Cos'è un singolo ugello fluido vs un ugello a due fluidi

Cos'è unSIngleFluidNozzle vs aTwo-fluidNouzzle?

Cos'è l'ugello?

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Gli ugelli sono un componente chiave nelle apparecchiature di elaborazione a umido a semiconduttore, che viene utilizzata per disperdere la soluzione in un motivo a spruzzo e spruzzarla sulla superficie del wafer per reazione chimica, pulizia, incisione e altri scopi. Di solito è diviso in due tipi: ugelli a fluido singolo e a due fluidi.

Cos'è un singolo ugello fluido contro un ugello a due fluidi?

Ugelli a singolo fluido: è necessario un solo fluido e l'effetto di spruzzo è controllato dal cambiamento di apertura dell'ugello e di progettazione interna. 2. Ugello fluido: l'effetto spray si ottiene mescolando due diversi fluidi (medicina liquida e azoto).
Secondo, il principio degli ugelli fluidi


Il design dell'ugello a due fluidi è vario e il design dell'immagine è spiegato qui.
Questa immagine mostra la struttura di due ugelli a due fluidi, l'ugello di miscelazione esterno e l'ugello di miscelazione interno.
Ugello di miscelazione esterno: il liquido viene spruzzato attraverso il canale liquido al centro e l'aria di atomizzazione (di solito aria compressa o azoto) viene spruzzata ad alta velocità da più canali nella periferia. I liquidi e i gas sono miscelati all'esterno dell'ugello e il flusso d'aria ad alta velocità strappa il flusso in piccole goccioline, creando un effetto di atomizzazione sottile e uniforme, di solito sotto forma di una ventola o di uno spray conico.
I gas liquidi e atomizzati nell'ugello di miscelazione interno si incontrano nella zona di miscelazione all'interno dell'ugello e vengono espulsi solo dall'ugello ad alta velocità dopo la miscelazione interna. Poiché la miscelazione è già eseguita internamente, le goccioline espulse sono di dimensioni più piccole e atomizzate in modo più uniforme.

0200-01808 tacca da 300 mm ceramica ad anello singolo

I vantaggi di due fluidi su singoli fluidi?
1. Afferrare il consumo di soluzione chimica
2.La forza di impatto meccanico è forte, è facile entrare nella struttura complessa e l'efficienza di rimozione è elevata

3. Le goccioline sono ultra-fine (circa alcuni micron) e altamente atomizzate